真空泵是一种用于从设备或生产系统泵送空气以使设备或生产系统在真空中工作的机器.

真空泵的主要工作性能参数为:抽速,极限真空度,轴功率和转速.

真空泵的泵送速率是指每单位时间（m 3 / h）可抽出的气体量。

极限真空是泵可以达到的最高真空度。

通常用于化学生产的真空泵包括往复式真空泵，水环真空泵和喷射泵。

往复式真空泵的结构与活塞式压缩机的结构基本相同。

真空泵的特点是高压比。

例如，为了达到95％真空，标称吸气的绝对压力为0.005MPa，而排气压力为0.1MPa，压力比为20。

由于高压比，膨胀后剩余间隙容积所占的体积非常大，这大大降低了吸入容量，并且气缸的有效利用率非常低。

为了解决上述问题，通常在气缸两端的气缸壁上开有几个凹槽，这些凹槽比活塞厚。当活塞运行到停止点时，凹槽用于平衡活塞两侧的气缸压力。

例如，当活塞运行到左停止点时，左汽缸的排气结束，间隙容积中的残余压力更高，右汽缸中的抽吸结束，并且压力更低。由于凹槽的连接，左汽缸的间隙容积中的气体压力相应地减小。

以这种方式，在活塞返回操作期间，由残余气体膨胀所占的体积大大减小并且抽吸能力增加。

活塞运行到右侧止挡。

往复式真空泵适用于泵送非固体颗粒，非腐蚀性气体。

这种真空泵因其高泵速和高真空度而广泛应用于化工领域。

中国制造的卧式往复式真空泵如图所示。

W-1至W-5有五种规格。

当泵送速率为65-770 m 3 / h时，罗茨真空泵为750 mm Hg柱。